MIKROANALYTIK.DE   

     Polycapillary optics X-ray analysis in electron microscope   
   Allgemeine Informationen zur Mikroanalyse
ESMA    Info1    Info2     Info3     Info4     Info5     Info6     Info7     Info8      Mikro-RFA     Info1    Info2              

Mikro-RFA im Rasterelektronenmikroskop (REM)

Methodenkopplung im REM   
weitere Informationen   


Bisher war es notwendig, mit zwei Geräten zu arbeiten, wenn mann sowohl die ESMA mit dem Elektronenmikroskop als auch die Mikro-RFA als Analysemethoden betreiben möchte. Ein Nachteil ist der notwendige Transport des Unterschungsobjektes von einem Gerät zum anderen. Wenn man z.B. eine interessante Stelle zur Analyse mit dem Elektronenmikroskop gefunden hat, ist eine quantitative Analyse mit der ESMA sofort möglich. Um aber noch eventuell vorhandene Elemente in geringen Konzentrationen nachweisen (oder ausschließen) zu können, ist die Mikro-RFA erheblich im Vorteil. Beim Transport der Probe in das andere Gerät findet man möglicherweise die Analysenstelle nicht wieder. Ein weiteres Problem sind die unterschiedlichen abbildenden Systeme zum Aufsuchen des Analysenobjektes. Im Elektronenmikroskop ist es das Elektronenbild, im Mikro-RFA Gerät ein optisches Bild der Oberfläche. Eine Struktur im Elektronenmikroskop kann durchus ganz anders aussehen als in einer optischen Oberflächenabbildung. Auch das erschwert das Auffinden desselben Objektes sehr.

Jetzt ist es möglich, beide Techniken gemeinsam im REM zu betreiben. An das REM muss lediglich an einen freien Flansch eine zusätzliche Mikro-RFA Quelle angebaut werden. Das iMOXS-System besteht aus einer Röntgnröhre und einer Kapillar-Optik die zueinander fest angeordnet und justiert sind.

Micro XRF modul (iMOXS) for Electron Microscope iMOXS Mikrofokus-Röntgenquelle am REM

Das optische Design der Anordnung liefert einen relativ großen Abstand zwschen Ende der Kapillaroptik und Fokus, so dass ein enfaches Handling der Proben im Elektronenmikroskop möglich ist. Die Elektronenmikroskopie und Röntgenspektrometrie mit der ESMA können wie gewohnt ohne Einschränkungen erfolgen. Das iMOXS-System steht 'standby' und ist sofort einsatzfähig, wenn eine Anlyse an einem gefundenen Objekt notwendig wird. Zur Lokalisierung des Objektes (Abbildung) wird dasselbe Elektronenbild verwendet wie zur ESMA. Der Spot des Mikro-RFA Systems ist mit dem Elektronenspot zueinander justiert. Mit dem iMOXS erreicht man eine Spot-Größe auf der Prbe von weniger als 100 um. Zur Spektrenaufnahme wird der bereits vorhandene EDX-Detektor genutzt. Das optische Design des iMOXS garantiert erstunlich große Impulsraten und damit sehr kurze Messzeiten.

Eine spezielle Software hat einen Importfilter für alle üblichen EDX-Hersteller und garantiert damit die Kompatibilität zum bereits vorhandenen EDX.
   zurück



Weitere Informationen zum System findet man unter      iMOXS-Infos

     Polycapillary optics X-ray analysis in electron microscope

nach oben 
  RFA Info1        Menü